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光氧催化废气净化器利用UV紫外线光束照射、裂解恶臭气体，使有机或无机污染物分子链转变为低分子化合物；利用UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。
低温等离子光氧一体机废气净化器，等离子有机废气净化器工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。
在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
光氧等离子一体机是科研团队在低温等离子净化设备、UV光氧净化设备的基础上，经过不断研究、多年实践设计而成,通过标准模块设计，采用“吸附一一分解一碳化”工艺设计，改变了单纯使用活性炭材料的工艺技术，无需再生处理原料，无需无人负责，不会产生二次污染。
