其反应过程为：在将废气进行化氧化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化氧化所需要的起燃温度，再通过催化剂床层使之氧化，由于催化剂的存在，催化氧化的起燃温度约为250-300℃，大大低于直接氧化法的氧化温度650-800℃，因此低能耗远比直接氧化法为低。
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