光氧氧化是指在一定波长光照条件下,半导体材料发生光生载流子的分离,然后光生电子和空穴在与离子或分子结合生成具有氧化性或还原性的活性自由基,这种活性自由基能将有机物大分子降解为二氧化碳或其他小分子有机物以及水,在反应过程中这种半导体材料也就是光氧剂本身不发生变化。
光氧催化废气净化器利用UV紫外线光束照射、裂解恶臭气体，使有机或无机污染物分子链转变为低分子化合物；利用UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。
