在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。
反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。
通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。
此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
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