它主要是利用废气分子的裂解和分化，因为在强紫外线光束作用下，废气分子会发生形态的改变，由原来的大分子化合物降解成低分子的化合物，可以将原有废气当中的原子和电离子重新的进行组合，进而达到净化处理废气的效果和目的。
UV光催化氧化废气净化装置，废气进入到此设备，首先在UV紫外线光束的照射下产生裂解，将废气中含有的氨、苯等voc的分子键打断，使其成为污染物小分子或打断成分子链，同时UV紫外线分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生臭氧，此时，游离状态的污染物小分子与臭氧氧化结合成无害或低害的化合物，如二氧化碳和水。
